Las máscaras metálicas finas son máscaras metálicas ultradelgadas utilizadas en el proceso de evaporación OLED. Sus principales funciones incluyen:
Control de la deposición de material OLED
Asegurar una alineación precisa de píxeles RGB
Mejorar la resolución de la pantalla
Mantener la consistencia del panel
A medida que la tecnología de visualización avanza hacia paneles de alta resolución y de gran tamaño, la precisión de fabricación de las máscaras FMM se vuelve cada vez más importante.

Materiales utilizados para máscaras FMM
Las máscaras FMM están típicamente hechas de materiales metálicos de alta estabilidad tales como:
Aleación Invar
Acero inoxidable
Aleaciones especializadas de baja expansión

Estos materiales proporcionan:
Baja expansión térmicaAlta estabilidad estructural
Excelente rendimiento de microprocesamiento

Para lograr estructuras de precisión a nivel de micrón, la fabricación de FMM típicamente utiliza fotolitografía combinada congrabado químico.

FMM Fabricación de grabado químicoProceso
El proceso típico incluye:
Preparación del material
Selección de chapas metálicas de alta precisión.
Fotolitografía
Transferencia de patrones finos sobre la superficie metálica.
Grabado químico
Grabar las áreas no protegidas para crear micro aberturas.
Limpieza y eliminación resistente
Eliminar la fotoresistencia y limpiar la superficie.
Inspección de precisión
Garantizar la precisión de la apertura y la consistencia del patrón.